基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置

摘要

本发明涉及一种液压系统功率测量装置，尤其是基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由流量传感器，压力传感器，信号处理单元三大部分组成。流量测量装置将MEMS敏感芯体置于V型锥体内部，取消了传统V锥流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量－压力－功率数学关系模型，实现对液压系统功率的测量。本发明实现了液压系统流量，压力以及功率的在线测量，为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。

主权项

1、基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，该装置由法兰(1)、测量管(2)、支撑架(3)、V型锥体组件(6)、负取压口(7)、正取压口(9)压力传感器(10)、信号采集处理设备(11)及流量传感器部分的MEMS敏感芯体(4)、封装结构(5)、信号线(8)、流量计二次仪表(12)构成；测量管(2)两端设法兰(1)；V型锥体组件(6)通过支撑架(3)同轴固定在测量管(2)内部；正取压口(9)与负取压口(7)均设在V型锥体组件(6)上，位于测量管(2)内部MEMS敏感芯体(4)被封装在封装结构(5)中，置于V型锥体组件(6)内部或嵌在V型锥体直管壁中或锥面壁中，并保持密封；MEMS敏感芯体(4)的两个取压管分别通过正取压口(9)与负取压口(7)接触高压和低压流体；信号线(8)与MEMS敏感芯体(4)连接后引出测量管(2)至流量计二次仪表(12)；流量计二次仪表(12)和压力传感器(10)与信号采集处理设备(11)连接。