一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法

摘要

一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法属于光学检测技术领域中涉及的一种测量微小转角的方法。要解决的技术问题是：提供一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法。技术方案是：第一、准备一台数字干涉仪和一块标准平面镜；第二、将标准平面镜安装在被测转角的物体上；第三、调整测试光路，使数字干涉仪的视场光轴与标准平面镜的光轴重合；第四、用数字干涉仪测试安装在被测物上的标准平面镜初始状态的第一面形精度PV值，调整被测物转动后再测标准平面镜的第二面形精度PV值；第五、将两次测得的PV值相减的差值Δ·λ代入公式θ≈sinθ≈Δ·λ/D，得到被测转角θ，式中λ为干涉仪的工作波长，D是标准平面镜的直径。该方法简便易行。

主权项

1、一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法，其特征在于：第一、准备一台数字干涉仪和一块标准平面镜；第二、将标准平面镜安装在被测转角的物体上；第三、调整测试光路，使数字干涉仪的视场光轴与标准平面镜的光轴重合；第四、用数字干涉仪测试安装在被测物上的标准平面镜初始状态的第一面形精度PV值，调整被测物转动后再测标准平面镜的第二面形精度PV值；第五、将两次测得的PV值相减的差值Δ·λ代入公式θ≈sinθ≈Δ·λ/D，得到被测转角θ，式中λ为干涉仪的工作波长，D是标准平面镜的直径。