发明名称 PROCESS FOR COLLECTIVE MANUFACTURING OF MEMBRANES AND SMALL VOLUME CAVITIES HAVING HIGH DIMENSIONAL ACCURACY
摘要
申请公布号 EP2013137(A1) 申请公布日期 2009.01.14
申请号 EP20070728561 申请日期 2007.04.26
申请人 TRONIC'S MICROSYSTEMS 发明人 COLLET, JOEL;NICOLAS, STEPHANE;PISELLA, CHRISTIAN
分类号 B81C1/00;F04B43/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
地址