坡莫合金铁芯薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种坡莫合金铁芯薄膜的制备方法，其特点是包括以下步骤：(a)用丙酮对Si(111)单晶进行超声清洗，然后用无水乙醇再超声清洗，用去离子水反复冲洗，干燥后将硅基片置于衬底台上；(b)将沉积系统抽真空后加热衬底，使硅基片温度升至200～300℃，并维持真空室压强；(c)离子束薄膜沉积系统的技术参数为：离子能量为850～900ev，离子束流密度为70mA/cm²，中和电流密度为90mA/cm²，离子束溅射角为45°，Ar工作气压为2.0×10^－2Pa进行镀膜，镀膜时间为40～180min。由于采用离子束薄膜沉积技术，制备出的铁芯薄膜材料的直流相对磁导率由现有技术的760提高到10⁵，矫顽力由现有技术的2.5Oe减小到0.1Oe。

主权项

1、一种坡莫合金铁芯薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(a)用丙酮对Si(111)单晶进行超声清洗5～10min，然后用无水乙醇再超声清洗5～10min，用去离子水反复冲洗，干燥后将硅基片置于衬底台上；(b)将沉积系统的真空室抽真空至4×10-4～4×10-5Pa后加热衬底，边抽真空边加热，使硅基片温度升至200～300℃，并使真空室压强保持在4×10-4～4×10-5Pa；(c)离子束薄膜沉积系统的技术参数为：离子能量为850～900ev，离子束流密度为70mA/cm2，中和电流密度为90mA/cm2，离子束溅射角为45°，Ar工作气压为2.0×10-2Pa进行镀膜，镀膜时间为40～180min。