移相干涉图像的信息处理方法

摘要

本发明涉及一种用于移相干涉的信息自动化处理系统及其处理方法。其信息处理系统至少包括干涉系统，图像采集系统，计算机分析处理系统和输出系统。其信息处理的方法步骤：首先对获得的数字干涉图做向量滤波；用对误差不敏感的组合相位提取方法提取相位，得到包裹相位；再对上述包裹相位应用可靠度相位展开方法，恢复相位信息；最后通过获取的相位分布，可进一步得到待测的参量。本发明充分考虑了误差对测量结果的影响，改善了测量精确度。

主权项

1、一种移相干涉图像信息处理方法，其特征在于该方法包括如下步骤：(1)移相干涉仪(2)对待测元件(1)检测产生的干涉图像用CCD摄像机(3)摄取N帧干涉图像，经图像采集卡(4)模数转换后，送入计算机(7)进行数据处理；(2)用组合相位提取法在所述的N帧干涉图像提取相位，形成包裹相位图：对连续以π/2为步距获得五帧图，对应地把相位π/4，3π/4，5π/4，7π/4，9π/4处的光强为I₁，I₂，I₃，I₄，I₅，用下列公式计算：然后，通过对上式的反正切变换，求得包裹的相位；(3)根据测量精度的需要，进行向量滤波：①对N帧包裹相位图中的每一个象素点的相位值都取其相应的余弦值和正弦值表示；②分别对余弦和正弦分量进行平均滤波处理：式中：T₁和T₂分别是滤波后的余弦和正弦值，m为滤波窗口的尺寸；③通过逆映射得到滤波后的干涉图像相位值(4)对所述的包裹相位图用可靠度相位展开法展开相位；(5)计算相位梯度分布值；在相位分布的基础上进行泽尼克多项式拟合。