| 发明名称 | 透明绝缘膜及其制造方法、以及溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有较好的耐电压性能的透明绝缘膜、这样的透明绝缘膜的制造方法、以及在该制造方法中所使用的溅射靶，其中该制造方法包括以下步骤：在惰性气体和氧气的混合气体的气氛中，通过使用包含按重量计50％～90％的锌和按重量计10％～50％的铝的锌铝合金靶进行溅射而在基板上形成透明绝缘膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101343727A | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200810133516.8 | 申请日期 | 2008.07.11 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 桐田科;河岛利孝 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C23C14/14(2006.01);G02B3/14(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;吴孟秋 |
| 主权项 | 1.一种透明绝缘膜制造方法，包括以下步骤：在惰性气体和氧气的混合气体的气氛中，通过使用包含按重量计50％～90％的锌和按重量计10％～50％的铝的锌铝合金靶进行溅射而在基板上形成透明绝缘膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||