| 发明名称 | 柔性静电激励器 | ||
| 摘要 | 一种静电激励器，其具有包括第一电极(20)的基部(10)，并且具有柔性膜(50)，该柔性膜包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层。至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极(40)。该柔性膜包括：连接到基部的固定端部；和与固定端部相反的且与基部间隔开的自由端部，该自由端部构成为在静电力下相对于基部移动。在柔性膜中，第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分，并且第一和第二部分一起限定出设在固定端部附近的台阶。在第一部分、第二部分和所述台阶中，第一部分最靠近固定端部。在基部和柔性膜之间形成分级的缝隙，该分级的缝隙在对应于第一部分之处较窄。 | ||
| 申请公布号 | CN100451737C | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200580017738.8 | 申请日期 | 2005.04.25 |
| 申请人 | 研究三角协会 | 发明人 | 戴维·E·道施;斯考特·H·古德温 |
| 分类号 | G02F1/03(2006.01);G02F1/01(2006.01);G02B26/00(2006.01);H01H57/00(2006.01);H05F3/00(2006.01);H01G5/01(2006.01);H01L29/84(2006.01) | 主分类号 | G02F1/03(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 吴丽丽 |
| 主权项 | 1.一种静电激励器，包括：包括第一电极的基部；柔性膜，其包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层，至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极；该柔性膜包括，连接到基部的固定端部，和与固定端部相反的且与基部间隔开的自由端部；柔性膜的所述自由端部构成为在静电力下相对于基部移动；所述第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分，并且该第一和第二部分一起限定出设在所述固定端部附近的台阶，在第一部分、第二部分和所述台阶当中，第一部分最靠近所述固定端部；并且在基部和柔性膜之间形成分级的缝隙，所述分级的缝隙在对应于第一部分之处较窄。 | ||
| 地址 | 美国北卡罗来纳 | ||