照明装置、曝光装置及微元件的制造方法

摘要

一种照明装置，是以光源(2)所射出的照明光来照明被照射面，具备：反射型复眼光学系统(12、14)，配置于光源(2)与被照射面(M)间，且由用以将光源(2)的光束进行波面分割后叠合于被照射面(M)上的复数个部分反射型光学系统所构成；以及反射型光学系统(10)，配置于光源(2)与反射型复眼光学系统(12、14)间，用以将照明光往反射型复眼光学系统(12、14)导引；反射型光学系统(10)，该反射型光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成。

主权项

1.一种照明装置，是以光源所射出的照明光来照明被照射面，其特征在于，具备：反射型复眼光学系统，配置于该光源与被照射面间，且由用以将光源的光束波面分割后叠合于被照射面上的复数个部分反射型光学系统所构成；及反射型光学系统，配置于该光源与反射型复眼光学系统间，用以将该照明光往该反射型复眼光学系统导引；该反射型光学系统，该反射型光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成。