发明名称 |
一种用于手机保护屏类的塑料基体上镀锡工艺 |
摘要 |
本发明涉及一种用于手机保护屏类的塑料基体上镀锡工艺,其特征在于:工艺可分为如下几个步骤:1.1抽真空:指对镀膜设备进行抽气,使之达到预期的3.0E-3Pa真空度;上架:指将客户需求尺寸的板材装到基片架上;1.2预靶:指对新装上的靶材进行表层剥离,清洁,使之达到与靶材内部一样的状态,具体可以通过预靶后期的电压稳定性来判断;1.3加热:指基体或待镀材料通过进料室、缓冲室时对其进行加热,使其表面吸附的杂质气体释放干净,达到镀膜前所需的表面状态;1.4镀膜:指应用在磁场作用下控制靶材的电流电压对基体进行镀膜;下架:指将板材从基片架上卸下来;1.5出片:指完成镀膜后从出料室出来。本发明工艺合理,镀膜电源的稳定、抽气能力的稳定性,镀膜的透光性好,膜与基体的紧密性好。 |
申请公布号 |
CN101343730A |
申请公布日期 |
2009.01.14 |
申请号 |
CN200810059530.8 |
申请日期 |
2008.01.31 |
申请人 |
杭州博纳特光电科技有限公司 |
发明人 |
赵斌通;张双文;崔龙范;宋光耀 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01) |
代理机构 |
杭州赛科专利代理事务所 |
代理人 |
陈辉 |
主权项 |
1、一种用于手机保护屏类的塑料基体上镀锡工艺,其特征在于:工艺可分为如下几个步骤:抽真空---→上架---→预靶---→加热---→镀膜---→下架---→出片;1.1抽真空:指对镀膜设备进行抽气,使之达到预期的3.0E-3Pa真空度;上架:指将客户需求尺寸的板材装到基片架上;1.2预靶:指对新装上的靶材进行表层剥离,清洁,使之达到与靶材内部一样的状态,具体可以通过预靶后期的电压稳定性来判断;1.3加热:指基体或待镀材料通过进料室、缓冲室时对其进行加热,使其表面吸附的杂质气体释放干净,达到镀膜前所需的表面状态;1.4镀膜:指应用在磁场作用下控制靶材的电流电压对基体进行镀膜,需要有真空度或镀膜时压力、气体等因素的保证;下架:指将板材从基片架上卸下来;1.5出片:指完成镀膜后从出料室出来。 |
地址 |
310030浙江省杭州市西湖经济开发区西园四路2号 |