| 发明名称 | 带有辅助进给装置的进给机构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，辅助进给机构包括上齿条、齿轮、下齿条，齿轮设于上齿条和下齿条之间并分别与上齿条和下齿条啮合，下齿条的前端为进给执行端。通过气缸及齿轮齿条结合的方式，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。主要应用于半导体加工设备的进给机构。 | ||
| 申请公布号 | CN101345202A | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200710118547.1 | 申请日期 | 2007.07.09 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 朱常青 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;任红 |
| 主权项 | 1、一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，其特征在于，所述气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||