| 发明名称 | 发热体的保持构造体、绝缘构造体、加热装置 | ||
| 摘要 | 一种发热体的保持构造体，防止发热体的一对供电部彼此的短路及熔接。在具备使用隔热材料形成为圆筒形状的隔热块(36)和一对供电部(45、46)的发热体(42)、将发热体(42)铺设在隔热块(36)的安装槽(40)的内周侧上的加热器单元(30)中，通过外侧绝缘子(52)及内侧绝缘子(55)保持发热体(42)的一对供电部(45、46)，并且在内侧绝缘子(55)的两个供电部(45、46)之间设置隔壁部(58)。即使在发热体(42)因热膨胀或随时间变化而伸长的情况下，也能够通过隔壁部(58)防止一对供电部(45、46)彼此接触，所以能够将发热体的短路及熔接防止于未然。 | ||
| 申请公布号 | CN100452291C | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200610071080.5 | 申请日期 | 2006.03.31 |
| 申请人 | 株式会社日立国际电气 | 发明人 | 村田等;杉浦忍;小杉哲也 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/22(2006.01);H01L21/324(2006.01);C23C16/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种发热体的保持构造体，用于基板处理装置，其特征在于，具有：隔热壁体，形成为圆筒形状；发热体，具有沿着该隔热壁体的内周侧设置成圆筒状的圆筒部、和贯通上述隔热壁体地设在该圆筒部的两端部的一对供电部；绝缘子，至少其一部分设在上述一对供电部之间，并且另一部分设置成从上述一对供电部之间越过上述圆筒部的上述两端部的内周面而到达上述发热体的圆筒部的内侧。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||