发明名称
摘要
申请公布号 JP4207769(B2) 申请公布日期 2009.01.14
申请号 JP20030418721 申请日期 2003.12.16
申请人 发明人
分类号 C23C14/14;G11B5/673;C23C14/35;G11B5/65;G11B5/73;G11B5/738;G11B5/84;G11B5/851;H01F10/16;H01F41/18 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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