发明名称 单晶硅制备炉石英埚增容加料装置
摘要 本发明公开了一种单晶硅制备炉石英埚增容加料装置,属单晶炉配件技术领域;其结构包括,可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器,加料器顶端固定吊架,吊架中心连接吊绳、吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤;应用本产品,可在满足生产工艺的同时,最大限度的利用石英埚的容积,提高石英埚的利用价值,节约资源,提高产量,降低生产成本,加料器可反复利用。
申请公布号 CN101343775A 申请公布日期 2009.01.14
申请号 CN200810079251.8 申请日期 2008.08.22
申请人 宁晋晶兴电子材料有限公司 发明人 刘彬国;张学强;张呈沛;何景辉;刘军波
分类号 C30B15/00(2006.01);C30B15/02(2006.01) 主分类号 C30B15/00(2006.01)
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 米文智
主权项 1、单晶硅制备炉石英埚增容加料装置,其特征在于:结构中包括,可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器,加料器顶端固定吊架,吊架中心连接吊绳,吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤。
地址 055550河北省邢台市宁晋晶龙工业园