PST及其Ba固溶，或者Mg、Mn或K掺杂材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种用溶胶凝胶工艺制备PST[(Pb，Sr)TiO₃]及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的方法，该方法是将Pb、Sr或者Pb、Sr、Ba或者Pb、Sr及Mg/Mn/K的醋酸盐溶解于冰醋酸，将含量为0-40V％乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合均匀，再将上述两种溶液在40-120℃温度下混合搅拌，然后加入乙二醇，调整冰醋酸的量，在一定温度保温加热，室温下过滤，匀胶投膜，退火结晶，或过滤后煅烧溶胶。可分别得到PST及其Ba固溶、Mg/Mn/K掺杂材料体系的薄膜或粉体。这种方法特别适合掺杂和含有低熔点元素的介电薄膜的制备，具有步骤简、合成温度低、保温时间短的优点。而且薄膜的一致性好，非常利于含有低熔点物质的合成，易与IC工艺兼容，为微波调谐器件的制备奠定了扎实的基础。

主权项

1、一种PST及其Ba固溶，或者Mg、Mn或K掺杂材料的制备方法，PST为(Pb，Sr)TiO3的缩写，其特征在于：采用改进的溶胶凝胶工艺，即在40-120℃将Pb和Sr的醋酸盐、或者Pb和Sr和Ba的醋酸盐、或者Pb和Sr与Mg、Mn或K的醋酸盐溶解于冰醋酸，将含量为0-40V％乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合均匀，将上述醋酸盐溶解于冰醋酸的溶液与含量为0-40V％乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合均匀的溶液在40-120℃温度下混合搅拌，然后加入乙二醇，调整冰醋酸的量，使得PST或PBST、或者PSTMg、PSTMn或PKST的最终含量为0.1～0.5mol/L，保温0.1-5小时后过滤，得到澄清透明的溶胶，在制备中以体积比为乙二醇∶乙二醇甲醚∶冰醋酸为1∶0.5～5∶7～14的比率溶解醋酸盐和钛酸四丁酯；再将所得溶胶在200-600℃之间的某一温度保温0.1-3小时，然后升温到600-900℃保温0.1-3小时得到高纯度的具有钙钛矿结构的PST粉末或Ba固溶PST粉末即PBST粉末或者Mg、Mn或K掺杂PST粉末即PSTMg、PSTMn、PKST粉末。