发明名称 |
非挥发性存储器及其制造方法与操作方法 |
摘要 |
一种非挥发性存储器,至少是由基底、存储单元与源极/漏极区所构成的。存储单元设置于基底上,存储单元至少包括第一存储单元与第二存储单元。其中,第一存储单元由基底起包括浮置栅极与第一控制栅极。第二存储单元设置于第一存储单元的一侧壁,第二存储单元包括电荷陷入层与第二控制栅极。源极/漏极区设置于存储单元两侧的基底中。 |
申请公布号 |
CN100452356C |
申请公布日期 |
2009.01.14 |
申请号 |
CN200510092129.0 |
申请日期 |
2005.08.19 |
申请人 |
力晶半导体股份有限公司 |
发明人 |
翁伟哲;杨青松 |
分类号 |
H01L21/8238(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L27/105(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L29/78(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/8238(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种非挥发性存储器,包括:一基底;一存储单元,设置于该基底上,该存储单元包括:一第一存储单元,该第一存储单元由该基底起至少包括一浮置栅极与一第一控制栅极;一第二存储单元,设置于该第一存储单元的一侧壁,该第二存储单元由该基底起包括一电荷陷入层与一第二控制栅极;以及一源极/漏极区,设置于该存储单元两侧的该基底中。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |