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发明名称 Preparation of metal silicon nitride films via cyclic deposition
摘要
申请公布号 EP1691400(B1) 申请公布日期 2009.01.14
申请号 EP20060002371 申请日期 2006.02.06
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LEI, XINJIAN;THRIDANDAM, HAREESH;CUTHILL, KIRK SCOTT;HOCHBERG, ARTHUR KENNETH
分类号 H01L21/285;C23C16/34;C23C16/455;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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