发明名称 METHOD OF PRODUCING SIMOX WAFER
摘要
申请公布号 KR100878734(B1) 申请公布日期 2009.01.14
申请号 KR20070029763 申请日期 2007.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址