发明名称 |
氮化物半导体元件和其制造方法 |
摘要 |
本发明的氮化物半导体元件包括:p型氮化物半导体层、n型氮化物半导体层以及夹持在所述p型氮化物半导体层和所述n型氮化物半导体层之间的激活层。p型氮化物半导体层具有:包含Al和Mg的第一p型氮化物半导体层、包含Mg的第二p型氮化物半导体层。第一p型氮化物半导体层位于所述激活层和所述第二p型氮化物半导体层之间,第二p型氮化物半导体层具有比第一p型氮化物半导体层的能带间隙大的能带间隙。 |
申请公布号 |
CN100452583C |
申请公布日期 |
2009.01.14 |
申请号 |
CN200480027878.9 |
申请日期 |
2004.09.24 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
川口靖利;岛本敏孝;石桥明彦;木户口勋;横川俊哉 |
分类号 |
H01S5/323(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/205(2006.01) |
主分类号 |
H01S5/323(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1.一种氮化物半导体元件,包括:p型氮化物半导体层、n型氮化物半导体层以及夹持在所述p型氮化物半导体层和所述n型氮化物半导体层之间的激活层,其中,所述p型氮化物半导体层具有:包含Al和Mg的第一p型氮化物半导体层;和包含Mg的第二p型氮化物半导体层,所述第一p型氮化物半导体层位于所述激活层和所述第二p型氮化物半导体层之间,所述第二p型氮化物半导体层具有比所述第一p型氮化物半导体层的能带间隙大的能带间隙,还包括位于所述第一p型氮化物半导体层和所述激活层之间并且包含Al的非掺杂氮化物半导体层,所述非掺杂氮化物半导体层具有比所述第二p型氮化物半导体层的能带间隙小的能带间隙。 |
地址 |
日本大阪府 |