发明名称 氮化物半导体元件和其制造方法
摘要 本发明的氮化物半导体元件包括:p型氮化物半导体层、n型氮化物半导体层以及夹持在所述p型氮化物半导体层和所述n型氮化物半导体层之间的激活层。p型氮化物半导体层具有:包含Al和Mg的第一p型氮化物半导体层、包含Mg的第二p型氮化物半导体层。第一p型氮化物半导体层位于所述激活层和所述第二p型氮化物半导体层之间,第二p型氮化物半导体层具有比第一p型氮化物半导体层的能带间隙大的能带间隙。
申请公布号 CN100452583C 申请公布日期 2009.01.14
申请号 CN200480027878.9 申请日期 2004.09.24
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 川口靖利;岛本敏孝;石桥明彦;木户口勋;横川俊哉
分类号 H01S5/323(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/205(2006.01) 主分类号 H01S5/323(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1.一种氮化物半导体元件,包括:p型氮化物半导体层、n型氮化物半导体层以及夹持在所述p型氮化物半导体层和所述n型氮化物半导体层之间的激活层,其中,所述p型氮化物半导体层具有:包含Al和Mg的第一p型氮化物半导体层;和包含Mg的第二p型氮化物半导体层,所述第一p型氮化物半导体层位于所述激活层和所述第二p型氮化物半导体层之间,所述第二p型氮化物半导体层具有比所述第一p型氮化物半导体层的能带间隙大的能带间隙,还包括位于所述第一p型氮化物半导体层和所述激活层之间并且包含Al的非掺杂氮化物半导体层,所述非掺杂氮化物半导体层具有比所述第二p型氮化物半导体层的能带间隙小的能带间隙。
地址 日本大阪府