| 发明名称 | 图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种图案形成材料，其是一种高感度而且显影性出色的、可以得到高析像度和高精细的图案的图案形成材料，本发明的目的还在于提供具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法。所以，本发明提供的图案形成材料的特征在于，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该感光层的感度在20mJ/cm<SUP>2</SUP>以下，在曝光之后显影该感光层时的最短显影时间为15～50秒。另外，本发明还提供使用所述图案形成材料的图案形成装置及图案形成方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101346666A | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200680048863.X | 申请日期 | 2006.11.20 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 佐藤守正 |
| 分类号 | G03F7/033(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/028(2006.01);G03F7/32(2006.01);H01L21/027(2006.01);H05K3/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/033(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种图案形成材料，其特征在于，包含支撑体、在该支撑体上至少具有的感光层，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该感光层的感度在20mJ/cm2以下，在曝光之后显影该感光层时的显影时间为15～50秒钟。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||