研磨装置及其组合方法

摘要

一种研磨装置及其组合方法，用以研磨一待研磨件，该研磨装置包含一定盘、至少一挡块、一正压气垫及一垫片。定盘具有一受压面及一承载面，其中研磨垫固定于承载面，而挡块设置于定盘的边缘外侧。正压气垫设置于受压面及挡块上方，以压制于受压面而推动定盘及研磨垫朝待研磨件移动。垫片设置于受压面与该正压气垫间，且延伸覆盖至挡块的部分，用以隔离正压气垫延伸于定盘边缘外的部分，而避免定盘边缘嵌入正压气垫，降低正压气垫破损机率。

主权项

1.一种研磨装置，用以研磨一待研磨件，其特征在于，该研磨装置包含：一定盘，具有一受压面及一承载面，且该受压面的边缘形成一导圆角；一研磨垫，固定于该承载面；一挡块，设置于该定盘的边缘外侧，其中该挡块的顶面靠近该定盘的边缘形成另一导圆角，且该定盘的受压面及该挡块的顶面位于同一水平面；一正压气垫，压制于该受压面；一垫片，设置于该受压面与该正压气垫间，且延伸覆盖至该挡块的部分；以及一固定件，穿设该挡块并锁固于该定盘的边缘。