双谐振器敏感结构谐振式传感器

摘要

双谐振器敏感结构谐振式传感器，包括由两个结构参数相同或相差较小的谐振器组成的敏感结构和闭环控制系统。在传感器的闭环系统中，谐振器1的响应信号经过放大作为谐振器2的激励信号，谐振器2的响应信号经过放大、反相作为谐振器1的激励信号。两个谐振器串联的谐振频率对应的总相移是180°，使闭环电路省掉了相移环节，只需要一个反相器即可满足传感器闭环的相位条件，简化了谐振式传感器的闭环电路，避免了由相移环节产生的相位漂移造成的测量误差，同时提高了整个闭环系统的Q值，从而提高了谐振式传感器的测量精度。

主权项

1、双谐振器敏感结构谐振式传感器，其特征在于：包括敏感结构和闭环控制系统，其中敏感结构由激励元件1、激励元件2、谐振器1、谐振器2、检测元件1和检测元件2组成；闭环控制系统由幅度控制器1、幅度控制器2和反相器构成，谐振器1的振动信号由检测元件1检测，经过幅度控制器1作用于激励元件2，激励谐振器2，谐振器2的振动信号由检测元件2检测，经过幅度控制器2和反相器作用于激励元件1激励谐振器1，构成闭环。