托架支承装置

摘要

本发明的托架支承装置(10)支承在垂直方向上设置间隔、以水平姿势容纳有多个接板状的被处理体(D)的托架(C)。托架具有在垂直方向上设置间隔的多个组的支承层(槽(1A)的下面)，各个支承层的组分别支承一个被处理体(D)的底面边缘。托架支承装置具有载置托架(C)的载置台(11)、以相对于该载置台自由升降的方式设置的抬升部件(12)、和可升降驱动该抬升部件的驱动机构。抬升部件(12)上升时压紧由托架(C)的最下位的支承层的组支承的被处理体(D)的底面，并从该支承层抬起被处理体(D)。

主权项

1、一种托架支承装置，用于支承在垂直方向上隔开间隔、以水平姿势容纳有多个接近平板状的被处理体的托架，其特征在于：所述托架具有在垂直方向上隔开间隔设置的多组支承层、和设置在比最下位的所述支承层还靠向下方位置的水平的导向棒，各个支承层的组分别支承一个被处理体的底面边缘，所述最下位的支承层与所述导向棒之间的间隔比相邻所述支承层之间的间隔狭窄，该托架支承装置包括：载置所述托架的载置台；抬升部件，以相对于该载置台自由升降的方式设置，在上升时只压紧由所述托架的最下位的支承层的组所支承着的最下位的被处理体的底面，并将其从该支承层上抬起；升降驱动该抬升部件的驱动机构；和搬送臂，在所述抬升部件上升时，插入所述最下位的被处理体的底而和所述导向棒之间，取出所述最下位的被处理体。