激光加工装置

摘要

激光加工装置，具备：使加工用激光与测距用激光(L2)向晶圆(1)聚光的聚光用透镜(31)，使聚光用透镜(31)动作的致动器，对测距用激光的反射光(L3)附加非点像差的整形光学系统(49)，接收反射光(L3)而输出配合其光量的电压值的(4)分割光电二极管(42)，和控制致动器的控制部；使测距用激光(L2)的聚光点(P2)位于透镜焦点(P0)与透镜(31)之间，可以在距表面(3)更深的位置形成改质区域，并抑制反射光(L3)造成的不良影响。根据实施了基于电压值总和的除算的运算值来加以控制，可由此防止运算值的反射光量所造成的变化。

主权项

1.一种激光加工装置，在板状的加工对象物的内部对准聚光点并照射第1激光，而在所述加工对象物内部形成作为切断的起点的改质区域，其特征在于，具备：聚光用透镜，使所述第1激光、和用于在照射有所述第1激光的所述加工对象物的激光照射面上进行反射的第2激光，向着所述加工对象物聚光；驱动单元，使所述聚光用透镜沿着其光轴方向动作；非点像差附加单元，对由所述激光照射面反射的所述第2激光的反射光附加非点像差；光检测元件，对附加了非点像差的所述第2激光的反射光进行分割受光，输出与被分割受光的所述第2激光的反射光的各个光量相对应的输出值；和控制单元，对所述驱动单元进行控制，以使所述第1激光的聚光点位于距所述激光照射面规定距离，所述第2激光利用所述聚光用透镜向所述加工对象物聚光，以使其聚光点位于所述聚光用透镜的焦点和所述聚光用透镜之间；所述控制单元，根据对由前述光检测元件输出的所述输出值实施基于所述输出值的总和的除算及规定运算而取得的运算值，对所述驱动单元进行控制。