SUBSTRATE ETCHING METHOD,申请号KR20070013130-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	KR100878539(B1)	申请公布日期	2009.01.14
申请号	KR20070013130	申请日期	2007.02.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/3063;H01L21/306	主分类号	H01L21/3063
代理机构		代理人
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