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经营范围
发明名称
POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR100878499(B1)
申请公布日期
2009.01.13
申请号
KR20020032948
申请日期
2002.06.12
申请人
发明人
分类号
G03F7/039;C08F220/26;G03F7/004;H01L21/027
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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