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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN
摘要
申请公布号 KR100878028(B1) 申请公布日期 2009.01.13
申请号 KR20070027169 申请日期 2007.03.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L29/786 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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