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发明名称 METHOD OF MANUFACUTRING CAPACITOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100878495(B1) 申请公布日期 2009.01.13
申请号 KR20020080190 申请日期 2002.12.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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