发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Vibrationswellen
摘要
申请公布号 DE69937858(T2) 申请公布日期 2009.01.02
申请号 DE19996037858T 申请日期 1999.05.22
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 ANDO, SHIGERU;HARADA, MUNEO
分类号 G01H11/08;G01H1/06 主分类号 G01H11/08
代理机构 代理人
主权项
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