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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEN WACHSTUM VON OBJEKTEN MITTELS CHEMISCHER DAMPFPHASENABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号
DE69937878(T2)
申请公布日期
2009.01.02
申请号
DE19996037878T
申请日期
1999.03.31
申请人
CREE INC.
发明人
LOEFGREN, PETER;HALLIN, CHRISTER;GU, CHUN YUAN;LIU, YUJING
分类号
C30B25/08;C30B25/12;C23C16/42;C30B25/14;C30B29/36;C30B35/00
主分类号
C30B25/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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