超支链聚合物之合成方法、超支链聚合物、光阻组成物、半导体积体电路及半导体积体电路之制造方法

摘要

本发明系以维持高分歧度下可稳定地得到具有目的分子量之超支链聚合物为目的，金属触媒的存在下使单体进行活性自由基聚合而合成超支链聚合物时，进行下述（1）或（2）之至少一方。（1）添加R#sB!1#eB!-A或R#sB!2#eB!-B-R#sB!3#eB!所示化合物之至少一种类。但，上述化合物中，R#sB!1#eB!表示氢、碳数1～10的烷基、碳数6～10的芳基或碳数7～10的芳烷基，A表示氰基、羟基或硝基，R#sB!2#eB!及R#sB!3#eB!表示氢、碳数1～10的烷基、碳数6～10的芳基、碳数7～10的芳烷基或碳数2～10的二烷基胺基，B表示羰基或磺醯基。（2）使对于反应系的单体每１次混合量未达混合于该反应系之单体全量。