薄膜电晶体、其制造方法、含该电晶体之有机发光二极体显示装置及其制造方法

摘要

一种薄膜电晶体包含一基板；设置在该基板上的半导体层，该半导体层包括一通道区及源极和汲极区且利用一金属触媒而被结晶化；经设置为对应于该半导体层之一预定区域的闸极；一闸绝缘层，其设置在该闸极与该半导体层之间，以使该半导体层隔绝于该闸极；以及源极和汲极，其分别与该半导体层之该源极和汲极区电连接。从该半导体层之一表面起依一垂直方向150　以内的该金属触媒被形成为在该半导体层之通道区内具有超过0且不超过每立方公分6.5×E#sP!17#eP!个原子的浓度。一种有机发光二极体（OLED）显示装置包含该薄膜电晶体。