| 发明名称 |
有效操作减量系统之方法及设备 |
| 摘要 |
本发明系提供一种操作电子元件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用一介面接收资料，其中该资料系与一减量系统相关；及关闭一制程工具及一减量工具，以对该资料作出回应。 |
| 申请公布号 |
TW200901271 |
申请公布日期 |
2009.01.01 |
| 申请号 |
TW097119429 |
申请日期 |
2008.05.26 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
克拉克丹尼尔Ｏ;费纽曼罗博特Ｍ;弗利波比兰达;罗德尤瑟夫Ａ;莫艾尔梅朗;史考福特逊Ｗ |
| 分类号 |
H01L21/02(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
