电浆处理装置、电浆处理方法、及记忆媒体

摘要

提供可以减少装置之构成要素，抑制装置之构成之复杂化，而且可以常时进行稳定之电浆处理的技术。藉由切换开关51使上部电极3及下部电极6选择性连接于第1高频电源部5，具备自动进行阻抗值匹配的第1匹配电路41及第2匹配电路71，电浆处理种别被选择时，参照记忆部之资料，介由切换开关51使上述高频电源部5连接于对应之电极之同时，使第1匹配电路41与第2匹配电路71之中作为阻抗调整电路功能的匹配电路调整为适当之阻抗值。