发明名称 用于半导体元件的影像检测系统
摘要 一种影像检测系统包括一系统主体、一对被架设于该系统主体的前方的相对端之载入器,每一该载入器系被建构为一结构,其中复数个承载半导体元件的托盘系被堆叠,使得该等托盘可往上或往下移动,第一与第二传送轨以向前与向后的方向被架设于该等个别的载入器的后方,以便向前与向后地传送托盘,一包括一对被架设于个别的传送轨之间的影像照相机之影像检测单元,用以拍摄半导体元件的前与后表面,第一与第二传送捡出器用以从位于个别传送轨上的该等托盘拾取要被影像检测之半导体元件,并透过侧对侧的水平移动传送被拾取的半导体元件,一被架设于个别的传送轨之间的捡出器移动单元系用以引导该等个别的传送捡出器之侧对侧水平移动,被架设于该等个别的载入器的后方介于个别的传送轨之间的废品托盘,用以承载有缺陷的半导体元件,以及一挑选装置,用以挑选与分配已完成影像检测之半导体元件至该等废品托盘与由该等个别的载入器所抽出之该等托盘。
申请公布号 TW200901349 申请公布日期 2009.01.01
申请号 TW097111279 申请日期 2008.03.28
申请人 英泰克普拉斯有限公司 发明人 林双根;李相允;朱炳权;孙东圭
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 王云平;黄怡菁
主权项
地址 南韩