晶圆机械手臂之驱动方法

摘要

本发明之机械手臂具有一可升降与旋转之复合运动轴心(15)，滚珠螺帽(16)用来驱动第一皮带轮(6)之升与降，直线花键套筒(19)用来驱动第一皮带轮(6)之旋转。第一手臂(7)透过线性衬套组(2,5)由第五皮带轮(3)来带动使之旋转。第一手臂(7)和第一皮带轮(6)亦藉由复合运动之轴心(15)在垂直方向同时移动。