发明名称 敏辐射线性树脂组成物,层间绝缘膜及微透镜,及此等之制造方法
摘要 本发明系含有,不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐,含有环氧基或氧杂环丁烷基之至少一个的不饱和化合物,(甲基)丙烯醯基吗 基及其他不饱和化合物的共聚物,以及1,2- 二叠氮基化合物的敏辐射线性树脂组成物。本发明提供具有高敏辐射线感度,具有即使超过显影步骤的最适显影时间,亦能形成良好图型形状的显影界限,可形成密接性优异的图型状薄膜之敏辐射线性树脂组成物。
申请公布号 TW200900857 申请公布日期 2009.01.01
申请号 TW097107118 申请日期 2008.02.29
申请人 JSR股份有限公司 发明人 滨田谦一;花村政晓;饭岛孝浩
分类号 G03F7/023(2006.01);C08L33/00(2006.01);C08L63/00(2006.01);C08K5/28(2006.01);H01L21/027(2006.01);G02B3/00(2006.01) 主分类号 G03F7/023(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本