潜在性受侵蚀之样品金属部份的微微秒超音速特性

摘要

本发明系关于一种制造程序之评监方法。该方法之步骤包括产生光泵束　冲及导引该光泵束　冲至一样品之表面上。产生探测　冲及将探测　冲导引至样品表面。侦测一探测　冲反应信号。回应音频信号而改变之探测　冲之变化将构成探测　冲回应信号。根据该探测　冲回应信号实行用以产生样品之一或多项制造程序步骤之评监。另外该方法亦可用于CMP程序之制程控制。本发明亦揭示所采用之装置。