基体支撑架、基体处理装置、及使用该装置将基体载入及卸载之方法

摘要

一种用于在一箱室内将一基体载入至一承受器上或将一基体从一承受器上卸载之基体支撑架，其中该基体支撑架被置于该承受器上方，其包括一本体，其支撑该基体之一边界部分；一第一开口，其穿过该本体之一中心部分并暴露该承受器之一中心部分；及一第二开口，其对应于该本体之一侧，其中该基体穿过该第二开口被置于该本体上，以与该承受器之中心部分重叠。