| 摘要 |
一种应用于透明体与反射体间之平行量测装置与方法，雷射二极体发射平行光束至光栅产生绕射光，其绕射光入射于分光镜，并经由四分之一波片、准直透镜将光束准直射出并入射于聚焦透镜，并由聚焦透镜将光束聚焦于反射体上，并由反射体反射回原光路入射至聚焦透镜、准直透镜、四分之一波片、分光镜，并由分光镜将光束入射于圆柱透镜并聚焦在光检测器上；当反射体、光束以及光检测器平行时，光检测器之四元光检测器上，其光强度平均分布至四象限光检测器上，其光点形式呈现圆形焦点；若反射体、光束以及光检测器不平行时，可由像散模式以及光点模式来判读是否完成锁焦动作。 |
