化学机械抛光之维持环及其制造方法

摘要

一种化学机械抛光之维持环，包括环体以及耐磨单晶颗粒；环体包含顶面、底面及内表面，内表面系在顶面与底面之间且与底面垂直，用以固定晶圆；耐磨单晶颗粒埋设于环体并于环体之底面外露出平面，用以抵抗环体之磨耗；俾藉维持环设计以达到抗磨耗并延长使用寿命之功用。