溅镀用承载装置

摘要

本发明提供一种溅镀用承载装置，其包括：一载具及一用于承载该载具之金属托盘；该载具具有一底面，该金属托盘具有一承载面；该底面与承载面两者中之一者其上形成有复数锯齿状凸起，另一者其上形成有与该复数锯齿状凸起相对应之复数凹槽；该载具与金属托盘经由该复数凸起与复数凹槽相配合形成热接触并相对固定。该溅镀用承载装置经由设置复数相配合之锯齿状凸起与凹槽使载具与金属托盘具有较大之热接触表面，其可有效避免被镀覆物件因温度过高而变形。