开闭阀及具备该开闭阀之处理装置

摘要

本发明系关于开闭阀及具备该开闭阀之处理装置，其提供一种可达成密封构件长寿命化之开闭阀。本发明之开闭阀100，其系设置于可将内部保持为真空之处理室11与排气装置53、54之间，且包括：阀本体110，其系具备连通处理室11侧与排气装置53、54侧之开口111；阀体120，其系位于阀本体110内，与开口111接离并开闭开口；密封构件120b，其系设置于阀体120上，当阀体120关闭开口111时密封开口111；直进移动机构140，其系使阀体进退；阀退避部113b，其系设置于远离开口111之位置处，使离开开口111之阀体120退避；及旋动机构150，其系使阀体120在对应于开口111之位置与对应于阀退避部113b之位置之间旋动。