扭曲量测影像系统

摘要

本发明提出扭曲测量和检查系统。在一个实施例中,使用视觉系统。此视觉系统实施双焦点平面成像,将样本基板和参考基板的两个焦点平面同时成像以决定扭曲。此外,还提供高度反射的背景,以便在扭曲测量期间提供更好的解析度。