定位机构及运用此定位机构之基板载台

摘要

一种定位机构，适用于一基板载台。基板载台包括一本体以及一承载件。承载件具有一限位部，并适于沿着一第一方向相对于本体由一第一位置移动至一第二位置。定位机构包括一基座、多个限位件以及一驱动单元。基座固定于本体。这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。当承载件沿着第一方向之相反方向移动至一第三位置时，这些限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向之相反方向移动。第三位置位于第一位置与第二位置之间。