具扫瞄透镜后偏转之雷射微加工系统

摘要

一种雷射微加工系统包括：一雷射源，其经定位以经由一扫描透镜而将一雷射脉冲导引至一安装于一工作表面上之工件；及一镜面，其定位于该扫描透镜与该工件之间且相对于该工作表面而倾斜以将该雷射脉冲反射朝向该工件。可将该镜面定位至许多位置使得仅该镜面之若干部分被用于许多处理步骤，从而延长了该镜面之寿命。