物件缺陷光学检测方法

摘要

一种物件缺陷光学检测方法，系利用一光源、一光罩、一影像感测装置，以检测一待测物，而该待测物系一可反射光或透光之材质，该检测方法首先使该光源透过该光罩产生一标准影像，再校正该影像感测装置之焦距，使其可清楚显示该标准影像，将该待测物定位于该光源与该影像感测装置之光学轴路径上，使该标准影像可经由该待测物而被该影像感测装置所侦测并形成一检测影像，最后比对该检测影像与该标准影像之差异，在该检测影像相对于该标准影像有产生偏移或失焦处，即可得知该待测物之对应的缺陷位置。