| 摘要 |
本发明系一种研磨液组合物，其系含有包含铈与锆之复合氧化物粒子、分散剂、及水系介质，且于藉由照射CuKα1线(λ＝0.154050 nm)而得之上述复合氧化物粒子之粉末X射线绕射光谱中，分别存在绕射角2θ(θ为布拉格角)区域28.61~29.67°内具有顶点之波峰(第1波峰)、绕射角2θ区域33.14~34.53°内具有顶点之波峰(第2波峰)、绕射角2θ区域47.57~49.63°内具有顶点之波峰(第3波峰)、及绕射角2θ区域56.45~58.91°内具有顶点之波峰(第4波峰)，上述第1波峰之半值宽为0.8°以下。 |
