振膜构造及音响感测器

摘要

本发明系在提供一种震动膜构造及声响感测器(acoustic sensor)。目的在于：在抑制震动膜角部的应力集中、晶片(chip)尺寸增大及晶片强度下降的同时，提高震动膜对晶片面积的有效面积率。形成有从基板101的上表面贯通到底面的贯通孔102。在基板101上形成有覆盖贯通孔102的震动电极膜103。位于贯通孔102上的部分的震动电极膜103作为震动膜104发挥作用。基板101上表面的贯通孔102的开口形状为六角形。