包括酚醛树脂掺合物之光阻

摘要

本发明系提供光阻组成物，其包括辐射敏感成分及至少两种不同的酚醛树脂。于一面向中，本发明之光阻具有特别高的溶解率，如于显影剂水溶液中具有超过每秒800埃的溶解率。于另一面向中，本发明之光阻具有良好感光速度，如具有100 mJ/cm#sP!2#eP!或更少的感光速度。