原子层沈积系统及方法

摘要

利用原子层沉积（ALD）以沉积薄膜之系统及方法。沉积系统包含具有周围侧壁之处理腔室；处理腔室中之处理空间分割成至少第一及第二隔间的分隔部；及于处理空间中支撑基板之承盘。承盘相对于静止的周围侧壁及隔间旋转基板。第一隔间容纳用于在各基板之上沉积一层之处理材料。注入处理材料之注入器穿过周围侧壁连接第一隔间。